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詳細(xì)介紹
從而實(shí)現(xiàn)高分辨率的圖形曝光。該系統(tǒng)采用先進(jìn)的電子束掃描控制技術(shù),支持靈活多樣的圖
案設(shè)計(jì)和精確控制,不僅具有電子束曝光功能,還保留了原SEM 的觀測(cè)功能,這使得用戶可
以在同一臺(tái)設(shè)備上完成樣品的觀測(cè)和加工,提高了工作效率和便利性。
二、KYKY-EM69系列鎢燈絲掃描電子顯微鏡產(chǎn)品特點(diǎn)
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