一、產(chǎn)品特點(diǎn)

亞納米級(jí)分辨率

低像差錐形物鏡

大束流

自動(dòng)化控制系統(tǒng)

超大樣品倉

鏡筒加速技術(shù)  顯著降低色差 低壓下高質(zhì)量成像

二、技術(shù)參數(shù)

三、產(chǎn)品功能

06 關(guān)鍵尺寸測(cè)量

具備距離，角度，水平線/垂直線等豐富的圖像測(cè)量功能

四、定制能力

1、電子束曝光（EBL）

2、真空互聯(lián)

·真空互聯(lián)系統(tǒng)可以在真空狀態(tài)下對(duì)樣品進(jìn)行預(yù)處理，并傳遞到掃描電鏡內(nèi)進(jìn)行觀測(cè)。

·自動(dòng)檢測(cè)和反饋系統(tǒng)，對(duì)樣品標(biāo)簽、位置狀態(tài)、樣品交接進(jìn)行監(jiān)控和記錄，可以清晰的了解樣品傳輸狀況。

3、激光聯(lián)用-超快電鏡

·超快電鏡利用激光、電場(chǎng)等外界刺激使樣品達(dá)到激發(fā)態(tài)。使用時(shí)間延遲可調(diào)的另一束激光作用于電

鏡燈絲，產(chǎn)生脈沖電子束照射于樣品表面進(jìn)而收集表面逸出的二次電子對(duì)激發(fā)瞬態(tài)進(jìn)行表征。

五、應(yīng)用案例